펠리클(pellicle)1 그래핀랩 신소재 발굴 성공 https://n.news.naver.com/mnews/article/015/0004787381?sid=101 '삼성의 고민' 해결할 꿈의 기술…한국 중소기업이 해냈다 네덜란드 반도체 장비업체 ASML이 독점 생산하는 극자외선(EUV) 노광 장비의 수율(양품 비율)을 획기적으로 개선할 것으로 기대되는 소재가 국내 중소기업에 의해 개발됐다. 반도체·디스플레이 n.news.naver.com 2022. 12. 15. 이전 1 다음